產品與服務

第五事業本部

各製程與設備相關的材料及機台零組件服務

半導體事業部 ( Semiconductor Div. )

工程整合事業部 ( Engineering Integration Div. )

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各製程與設備相關的材料及機台零組件服務

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8、12 吋晶圓運輸盒(Box/FOSB)
8、12 吋晶圓運輸盒(Box/FOSB)
InF3
InF3
水平、垂直式石英清洗機
水平、垂直式石英清洗機
爐管石英
爐管石英
1.25% Kr/Ne
1.25% Kr/Ne
1% SiH4(6N)/H2(6N)
1% SiH4(6N)/H2(6N)
12吋晶圓製程盒 (FOUP)
12吋晶圓製程盒 (FOUP)
10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon
10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon
化學機械研磨液
化學機械研磨液
單晶石英坩堝
單晶石英坩堝
有機溶劑回收系統
有機溶劑回收系統
C4F8
C4F8