產品與服務

第五事業本部

各製程與設備相關的材料及機台零組件服務

半導體事業部 ( Semiconductor Div. )

工程整合事業部 ( Engineering Integration Div. )

高機能材料事業部 ( High Performance Material Div. )

各製程與設備相關的材料及機台零組件服務

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8、12 吋晶圓運輸盒(Box/FOSB)
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CO2自動滅火系統 CABINEX-EN2
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InF3
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水平、垂直式石英清洗機
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爐管石英
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1.25% Kr/Ne
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1% SiH4(6N)/H2(6N)
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CO2自動滅火系統 CABINEX-KZ
CO2自動滅火系統 CABINEX-KZ
CO2自動滅火系統 CABINEX-EWT
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12吋晶圓製程盒 (FOUP)
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10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon
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化學機械研磨液
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