12吋晶圓製程盒 (FOUP)
在12吋晶圓廠中，Shin-Etsu Polymer (SEP) 12吋晶圓製程盒扮演著晶圓承載、傳送及儲放功能，提供晶圓高效能防護，以確保製程中之晶圓不受微塵粒子污染。另有搭配導風管 (Diffuser) 提供被充氣功能，可快速且均勻將溼氣趕出，使晶圓製程盒 (FOUP) 內部維持在低溼度的潔淨環境，符合先進製程日趨嚴謹之潔淨度要求。
產品說明
- 無塵室環境內承載 12 吋晶圓之製程容器。
- 無塵室環境內儲存、防塵並保護12 吋晶圓之製程容器。
- 可搭配自動化系統，運送12 吋晶圓到各生產設備端之製程容器。
- 搭配導風管 (Diffuser) 提供被充氣功能，延長Q-time 以滿足客戶先進製程日趨嚴謹之潔淨度要求。
規格
- Capacity : 25 pcs/set
- Weight : 4.6kg/set
- Dimension : W426mm x L347mm x H338mm
- Shell : Conductive PC, PBT＆PC (Rear Window)
- Door (Inside) : PC Alloy
- Door (Outside) : PC
- SEMI Standard : Compliant (E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)
- Options : Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.
