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第五事业本部

各制程与设备相关的材料及机台零组件服务

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各制程与设备相关的材料及机台零组件服务

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8、12 吋晶圆运输盒(Box/FOSB)
8、12 吋晶圆运输盒(Box/FOSB)
InF3
InF3
水平、垂直式石英清洗机
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炉管石英
炉管石英
1.25% Kr/Ne
1.25% Kr/Ne
1% SiH4(6N)/H2(6N)
1% SiH4(6N)/H2(6N)
12吋晶圆制程盒 (FOUP)
12吋晶圆制程盒 (FOUP)
10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon
10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon
化学机械研磨液
化学机械研磨液
单晶石英坩埚
单晶石英坩埚
有机溶剂回收系统
有机溶剂回收系统
C4F8
C4F8