有机溶剂回收系统
半导体或LCD厂使用过之IPA、DMSO、Aceton、ETOH等有机溶剂液体回收再使用。
产品说明
有机溶剂回收系统在UMC及PSC等半导体厂,主要将制程使用过之含有90wt%左右的有机溶剂,经过回收精制去除水份及金属离子后,将纯度提高至99.90-99.92wt%,持续供应回制程使用。
优点
- 节省成本。
- 减少废溶剂量。
- 增加安全性。
- 减少溶剂存量。
- 简化操作。
- 稳定的制程含水率。
特性
- 精巧的系统。(採用高蒸发性薄膜)
- 高性能的陶瓷薄膜。(热阻抗及化学阻抗)
- 高安全性。
- 省电系统。(与蒸馏法比较)
- 环保。
- 适用于多种溶剂。(例如:醇、酮、酯等)
用途
- 半导体或LCD厂使用过之IPA、DMSO、Aceton、ETOH等有机溶剂液体回收再使用。
规格
- D12S111 2800×800×1700
- D16S211 2800×800×1700
- D24S222 2800×800×1700