设备及零件>设备初田CO2自动灭火系统 CABINEX-EN2崇越科技代理初田制作所 (HATSUTA) 的CABIN EX-EN2 是有效又安全,并适用于半导体与大型机床、各种设备上使用。再者,CO2释放后不引起化学变化,无机械污染之自动灭火设备。 产品说明产品联络人其他相關產品产品说明应用上建议 应用制程 半导体暨光电制程设备 光罩制作(Reticle Photo mask) • 光罩清洗相关设备 晶圆蚀刻(WaferEtching) 晶圆蚀刻机 Coater Coating and stripping equipment Vapor drying equipment 晶圆研磨制程(Wafer polishing) 易燃溶剂(flammable solvents)晶圆洗净设备 光阻涂怖(Photo resist coating process) 光阻涂佈机 IPA清洗机 Vapor drying equipment 离子植入制程(Oxide diffusion CVD ion implanting) 易燃溶剂(flammable solvents) 晶圆洗净设备 其它(Others) 易燃溶剂供应设备 工具机产业 大型中心加工机、CNC车床、磨床等。 EN2型的产品特色与优点 日本消防设备和安全中心所认证的灭火系统,适用于半导体、光电产业和各种工具机机床的消防安全与保护。 无化学变化:无化学变化,无机械污染之自动灭火设备。 自动侦测灭火:全自动24小时全面监控,自动侦测灭火。 产品寿命长:CO2自动灭火系统之材质可选择能抵抗天然硷或酸的原料。 Sensor信赖度高:多重自动侦测,可减少人为操作方面的疏失。 规格 灭火器类型 型号 呎寸 (mm) 重量 灭火药剂 药剂量 一体型 COX-3EN2 760*290*180 23kg CO2 3.2kg COX-5EN2 1160*4000*300 35kg CO2 4.6kg COX-7EN2 920*320*215 37kg CO2 6.8kg COX-14EN2 1160*4000*300 86kg CO2 14.0kg COX-18EN2 1160*4000*300 90kg CO2 18.0kg 灭火器类型 型号 呎寸 (mm) 重量 灭火药剂 药剂量 分体型 CPX-REN2 (外露式/独立是控制面板) 345*280*90 6kg CO2 n/a CPX-UEN2 (崁入式/独立是控制面板) 220*340*130 6.3kg CO2 n/a COX-30ENA2 1755*400*330 140kg CO2 30kg COX-45ENA2 1915*525*380 180kg CO2 45kg 灭火器类型 型号 呎寸 (mm) 重量 灭火药剂 药剂量 分离型箱体 COX-3ENS2 760*290*180 23kg CO2 3.2kg COX-5ENS2 920*320*215 34kg CO2 4.6kg COX-7ENS2 920*320*215 84kg CO2 6.8kg COX-14ENS2 1160*4000*300 86kg CO2 14.0kg COX-18ENS2 1160*4000*300 88kg CO2 18.0kg COX-30ENA2-S 1755*400*330 140kg CO2 30kg COX-45ENA2-S 1915*525*380 180kg CO2 45kg 产品联络人张庆丰崇越科技股份有限公司专案经理工整营一部TEL: (03)564-2132 ext.3313charlies.chang@topco-global.com其他相關產品水平、垂直式石英清洗机初田局部灭火喷头初田SX-7000 (红外线感测器)初田Heat Sensor (温度感测器)初田CO2自动灭火系统 CABINEX-KZ初田CO2自动灭火系统 CABINEX-EWT