有機溶劑回收系統

有機溶劑回收系統在UMC及PSC等半導體廠，主要將製程使用過之含有90wt%左右的有機溶劑，經過回收精製去除水份及金屬離子後，將純度提高至99.90-99.92wt%，持續供應回製程使用。

優點

1. 節省成本。
2. 減少廢溶劑量。
3. 增加安全性。
4. 減少溶劑存量。
5. 簡化操作。
6. 穩定的製程含水率。

特性

1. 精巧的系統。（採用高蒸發性薄膜）
2. 高性能的陶瓷薄膜。（熱阻抗及化學阻抗）
3. 高安全性。
4. 省電系統。（與蒸餾法比較）
5. 環保。
6. 適用於多種溶劑。（例如：醇、酮、酯等）

用途

• 半導體或LCD廠使用過之IPA、DMSO、Aceton、ETOH等有機溶劑液體回收再使用。

規格

• D12S111 2800×800×1700
• D16S211 2800×800×1700
• D24S222 2800×800×1700