爐管石英
高純度且高耐熱的爐管石英,由崇越石英提供,應用於擴散製程中,主要以高溫反應、氣體輸入、裝載晶圓等用途。
產品說明
TUBE
- 主要用火加工,石英產品裝在擴散爐管製程,加工製成需求大小,設備商主要以TEL、KE、ASM為大宗
BOAT
- 利用NC切溝機進行溝槽加工,三維檢查確認溝槽大小
- 加工精密程度高,針對平行度、垂直度嚴加管控減少製程上的誤差
OTHERS
- 石英噴嘴(Quartz Injector)、石英板(Quartz plate)等各種石英製品
規格
依客戶的需求訂製生產。
高純度且高耐熱的爐管石英,由崇越石英提供,應用於擴散製程中,主要以高溫反應、氣體輸入、裝載晶圓等用途。
依客戶的需求訂製生產。