再生晶圆
将使用过的晶圆回收,再次接受与生产晶圆时相同等级的制程与品管,让再生晶圆的洁净度与平坦度,几乎与原始的档控晶圆同样优良。因此再生晶圆不但可替代部份档控片,甚至可用至高温的炉管。
产品说明
用途
- 半导体制程所需之档控片
规格
- 目前供应有 12吋的再生晶圆,依客户需求及主要规格, THK (厚度)、particle及表面金属含量来提供客户所需之再生晶圆片。
将使用过的晶圆回收,再次接受与生产晶圆时相同等级的制程与品管,让再生晶圆的洁净度与平坦度,几乎与原始的档控晶圆同样优良。因此再生晶圆不但可替代部份档控片,甚至可用至高温的炉管。