再生晶圓

將使用過的晶圓回收，再次接受與生產晶圓時相同等級的製程與品管，讓再生晶圓的潔淨度與平坦度，幾乎與原始的檔控晶圓同樣優良。因此再生晶圓不但可替代部份檔控片，甚至可用至高溫的爐管。