光罩盒 ( RSP )
Fab內承載、傳送和保護產品的容器，主要應用於光罩 (Photomask) 製程上的傳輸與儲存。適用於 : 6吋光罩製程。
產品說明
提供客戶在生產與製作 6 吋光罩時良好的儲存與保護環境。
- Low outgas & low inorganic ion
- ESD safe
- Visibility of Reticle
- Particle performance
規格
- PC Blended Carbon
Fab內承載、傳送和保護產品的容器，主要應用於光罩 (Photomask) 製程上的傳輸與儲存。適用於 : 6吋光罩製程。
提供客戶在生產與製作 6 吋光罩時良好的儲存與保護環境。
