光罩及載具>光罩IC光罩保護膜光罩保護膜為透光度極高光學產品，用以防止異物黏附於光罩上，造成黃光製程之瑕疵。 產品說明產品聯絡人其他相關產品產品說明用途 保護光罩 防止異物入侵 光反應化學安定 規格 單位：片 透光度：大於99.0% 6吋高階光罩使用(KrF/ArF製程) 產品聯絡人陳羿蓁崇越科技股份有限公司部經理先一營二部114511台北市內湖區堤頂大道二段483號TEL: (02)8797-8020 ext.2725nina.chen@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光阻黏著增強劑光罩盒 ( RSP )光罩基板10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon1.25% Kr/Ne
