光罩基板

生產晶片的模具稱為光罩。當IC設計公司設計出一款晶片電路圖之後，光罩公司製作成光罩，再送至晶圓代工廠進行晶圓代工，封裝、測試後，便成為一顆顆的IC晶片。而製作光罩的基礎材料，即光罩基板(Mask Blanks)。最主要的產品依基板特性分為Binary及Half-Tone(KrF/ArF)兩種，若再依所塗佈的光阻分類，可再細分成Optical resist及E-Beam resist等兩種。