化學品>光阻ArF光阻液微影製程中的感光物質,主要目的是將光罩上的圖像轉印至矽晶片中,ArF的光阻呈黃色。對193nm波長的光有很好的吸收與反應力。 產品說明產品聯絡人其他相關產品產品說明用途 微影(黃光)製程 規格 容量單位:加侖 材質為棕色的玻璃瓶,另有廠商使用NOWpak的包裝 冷藏保存 保稅商品 產品聯絡人王光銳崇越科技股份有限公司協理先材事業二部114511台北市內湖區堤頂大道二段483號TEL: (02)8797-8020 ext.2746terry.wang@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光罩盒 ( RSP )光罩基板KrF光阻液IC光罩保護膜10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon