化學品>光阻KrF光阻液微影製程中的感光物質,主要目的是將光罩上的圖像轉印至矽晶片中,KrF的光阻呈黃色。對248nm波長的光有很好的吸收與反應力。 產品說明產品聯絡人其他相關產品產品說明用途 微影(黃光)製程 規格 容量單位:加侖 材質為棕色的玻璃瓶,另有廠商使用NOWpak的包裝 冷藏保存 保稅商品 產品聯絡人陳立偉崇越科技股份有限公司協理先材事業三部114511台北市內湖區堤頂大道二段483號TEL: (02)8797-8020 ext.2739lw.chen@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光阻黏著增強劑光罩基板ArF光阻液10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon1.25% Kr/Ne