常壓電漿表面處理裝置
常壓Plasma方式取代以往採用 UV Lamp 清潔方式( Excimer UV),具有高性能(約Excimer的4倍)表面改質效果,並有助於降低running cost成本。
產品說明
- 增加基板最初洗淨、精密洗淨效率的提升及密著性的提升
- 由於不發塵最適合為提升次工程 ( ITO、PI、光阻塗佈製程前) 高附著性表面改質
- 因處理後表面均一化,可加快顯影液、蝕刻藥液、去光阻液等的初期反應,有效提升處理一致性及處理速度
- 非接觸式低溫處理清潔,對產品表面不會造成傷害 (與UV、EUV相同程度),故對裝置無不良影響
- 安裝在各製程間,可有效去除表面有機污染層
- 處理過程中,對於基板表面不會產生電位及靜電
- 無靜電放電 (處理後的ESD值為0~50V以內,由於正、負離子的產生,故處理前不需要負離子空氣淨化器裝置,使基板為不帶電)
規格
- G5基板尺寸1100mm版寬,機台參考外觀尺寸 (L 1500mm *W 620mm *H 750mm) ; 可視客戶各世代玻璃尺寸對應。
產品聯絡人
楊育晴
- 崇越科技股份有限公司
- 副理
- 設備營二部
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TEL: (06)505-8940 ext.6181