碳化矽/氮化鋁 磊晶晶圓

規格

• 碳化矽磊晶晶圓：
  • 4吋、6吋
• 氮化鋁磊晶晶圓：
  • 4吋(碳化矽基板)
  • 6吋(矽基板)、6吋(碳化矽基板)、6吋(陶瓷基板)
  • 8吋(矽基板)、8吋(陶瓷基板)