TMA
三甲基铝是一个化合物,化学式是Al2(CH3)6可以缩写为Al2Me6、 (AlMe3)2或者 TMA。
产品说明
- 一种自燃的无色液体,在工业上是很重要的有机铝化合物。
- 它的蒸气散发到空气中后会产生白烟(氧化铝)。
- TMA 是有机金属化学气相沉积法(MOVPE)制造含铝半导体(如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等)中有机金属的重要来源。
三甲基铝是一个化合物,化学式是Al2(CH3)6可以缩写为Al2Me6、 (AlMe3)2或者 TMA。