常压电浆表面处理装置
常压Plasma方式取代以往採用 UV Lamp 清洁方式( Excimer UV),具有高性能(约Excimer的4倍)表面改质效果,并有助于降低running cost成本。
产品说明
- 增加基板最初洗净、精密洗净效率的提升及密着性的提升
- 由于不发尘最适合为提升次工程 ( ITO、PI、光阻涂佈制程前) 高附着性表面改质
- 因处理后表面均一化,可加快显影液、蚀刻药液、去光阻液等的初期反应,有效提升处理一致性及处理速度
- 非接触式低温处理清洁,对产品表面不会造成伤害 (与UV、EUV相同程度),故对装置无不良影响
- 安装在各制程间,可有效去除表面有机污染层
- 处理过程中,对于基板表面不会产生电位及静电
- 无静电放电 (处理后的ESD值为0~50V以内,由于正、负離子的产生,故处理前不需要负離子空气净化器装置,使基板为不带电)
规格
- G5基板尺寸1100mm版宽,机台参考外观尺寸 (L 1500mm *W 620mm *H 750mm) ; 可视客户各世代玻璃尺寸对应。
产品联络人
杨育晴
- 崇越科技股份有限公司
- 副理
- 设备营二部
744094 台南市新市区台南科学园区创业路8号 1楼
TEL: (06)505-8940 ext.6181