NF3

三氟化氮（NF₃）是鹵化氮中最穩定的，可在鈣的催化下由氨氣與氟氣製成。它可以用作氟化氫雷射器的氧化劑，半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產過程中的蝕刻劑。