晶圓載具 ( Cassette )
Fab內承載、傳送和保護產品的容器，主要應用於矽晶圓 (Wafer) 製程上的傳輸與儲存。適用於 : 50mm~300mm 矽晶圓製程。
產品說明
Cassette
廣泛使用於晶圓廠、IC 廠和二極體廠等，在無塵室內承載 2 吋至 12 吋晶圓並配合生產機台，為避免手直接接觸到晶圓，使晶圓或產品造成污損，將晶圓放入晶舟內，再放置在機台上。
規格
- 一般傳送 : PP, PBT Cassette
- 酸槽、清洗專用 : PFA Cassette
- 高溫專用 : PFA, PEI, PEEK, Alumina Cassette
